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上海奥法美嘉生物科技有限公司

入驻年限:10 年

  • 联系人:

    奥法美嘉客服

  • 所在地区:

    上海 闵行区

  • 业务范围:

    实验室仪器 / 设备、技术服务、试剂

  • 经营模式:

    生产厂商 代理商 经销商

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半导体行业应用专题 | CMP Slurry均一性的一体化解决方案
化学机械抛光(CMP)是一种广泛应用于半导体晶圆加工,通过结合化学力和机械力对晶圆表面进行抛光、平坦化。CMP Slurry(抛光液研磨液)是用于CMP工艺中的重要原料,通常由纳米及亚微米级别原料组成。而Slurry中的大颗粒的存在易在CMP工艺中对晶圆表面造成划痕,CMP; Slurry均一性;磨料粒径:Slurry稳定性;大颗粒影响成品良率。因此在生产和使用过程中,都会特别注意对Slurry“大颗粒”的控制,此外,Slurry的稳定性和均一性对CMP工艺有着重要影响。工业中的 Slurry 是循环使用的,Slurry中的化合物浓度的高低直接影响化学反应速率,研磨颗粒浓度高低则影响研磨效率及良率,因此,工业中还需对各组分浓度进行监测用于选择添加或稀释对应组分。奥法美嘉提供离线和在线两套方案用于解决CMP Slurry稳定性及均一性问题。离线方案使用HM&M珠磨机(小试和生产型)研磨分散制备Slurry,使用PSS(母公司:Entegris)Nicomp粒度仪系列和AccuSizer计数器系列对Slry进行粒度检测,使用Lum 系列稳定性分析仪对Slurry进行稳定性分析。在线解决方案中采用Entegris的浓度计和过滤器分别对工业生产中重复使用的Slurry进行浓度监测和除杂(过滤金属杂质及过大研磨颗粒)。采用PSS Onine 粒度检测设备进行在线粒度监测。

392 人阅读发布时间:2026-01-27 15:10

半导体行业应用专题 | CMP Slurry均一性的一体化解决方案

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